项目名称：深紫外穆勒矩阵椭偏仪

采购单位：化工学院

采购方式：询价

成交单位：武汉颐光科技有限公司

成交价格：378000元

购买数量：1套

产品型号：SE-VM-L(190-1000nm)

评审日期：2022年5月9日

主要技术参数：

1.测量能力：一次性获得全穆勒矩阵16个元素（m11归一化，8组rpp, rss主对角偏振元素，8组rsp, rps辅对角偏振元素）、偏振态Psi/Delta（其中Delta值域：-90-270°，360度无死角）、反射率/透射率、退偏指数等光谱

2.光谱范围：190-1000nm 覆盖深紫外到近红外波段，无光纤外接设计

3.测量时间：单点测量不超过15秒

4.光斑尺寸：大光斑模式2-4mm，微光斑模式200μm消透明衬底背反

5.可视化调平系统：支持样件台可视化辅助对准调平

6.光强调节方式：基于样件反射信号自适应调整积分时间实现最佳光强信号探测 ，支持实时打印积分时间、采集帧数

7.调制技术：超级消色差双旋转补偿器PCr1SCr2A调制技术

8.入射角范围：45-90°(5度步进) 

9.样品台：支持Z向，俯仰可调，支持样件尺寸到Ф200mm，支持样件真空吸附固定

10.重复性测量精度：优于0.005nm （100nm SiO2硅片，30次重复测量）

11.偏振精度：穆勒矩阵优于：对角元素m=1±0.005， 非对角元素m=0±0.005（直通模式测量空气，所有测量波长点的90%满足）

12.褪偏指数Depolarization精度优于：±0.5%（测量裸硅，全波段90%满足）

13.分析软件：支持16个穆勒矩阵偏振元素建模仿真与分析功能，内置多达数百种的光学材料常数数据库，并支持用户自定义光学材料库；具备多层各向同性/异性光学薄膜建模分析能力

14.测控分析电脑：CPU：≥双核心处理器，RAM：≥8G，ROM：≥1024G，显示器：≥19寸， windows操作系统

公示时间：2022.5.10-2022.5.16，如有异议请拨打64253334向王伟老师反映。