项目名称：抛光机

采购单位：化工学院

采购方式：询价

成交单位：北京特思迪半导体设备有限公司

成交价格：265500元

购买数量：1套

产品型号：TSP-380

评审日期：2022年5月20日

主要技术参数：

1. 主机尺寸：W 800×D 800×H 600 mm

2. 抛光盘：缓慢启动、缓慢停止功能

2.1 尺寸：O.D380 mm

2.2 驱动：电机 0.37 kW

2.3 转速：3~70rpm，无级可调

2.4 冷却：底盘法兰采用特殊的水冷通道，独立冷水机控制实现研磨盘强制冷却

3. 抛光头：

3.1 尺寸：兼容4英寸及以下

3.2 转速1~70rpm，主动驱动电机

3.3 配置摆臂摆动功能，由抛光轴下方可调的限位器控制摆幅

3.4 配置真空压头，兼容真空砝码压头

3.5 加压：通过转动加压调整装置来调整弹簧的压力，以分配外支撑圈和中心压盘的压力，实现对中心压盘压力的控制。如抛光夹具的重量不足时，通过在上部增加砝码来增加压力

3.6 平行度：通过三个螺旋微动调节头调整压头面与外圈的平行度，即中心压盘和外支撑圈的平行度

4. 抛光液供应系统：

4.1 PVC液桶：W 374×D 350×H 400mm，3L，带搅拌功能

4.2 蠕动泵供液，流量可调

4.3 供液通道：1个

5. 工艺程序：PLC控制系统

公示时间：2022.5.23-2022.5.29，如有异议请拨打64253334向王伟老师反映。