项目名称：原子层沉积系统

采购单位：化工学院

采购方式：询价

成交单位：元于科技（北京）有限公司

成交价格：298000元

购买数量：1套

产品型号：YT-ALD150

评审日期：2022年7月19日

主要技术参数：

1. 主机

1.1  标准6 英寸原子层沉积系统

1.2  2路前驱体源，包括管路、高温ALD阀门、50ml 源瓶，2路均为加热源

1.3  沉积自动控制系统

1.4  沉积程序控制软件

1.5  预装Windows 的笔记本电脑

2.  选配前驱体源：包括管路、加热套、高温ALD 网门、50ml 源瓶（最高可配6路前驱体）

3. 真空机械泵系统：机械泵与相关管路

    真空机械泵型号：北仪优成TRP-6

公示时间：2022.7.20-2022.7.26，如有异议请拨打64253334向王伟老师反映