项目名称：多波段紫外光刻机

采购单位：化工学院

采购方式：询价

成交单位：中国科学院光电技术研究所

成交价格：46.8万元

购买数量：1台

产品型号：URE-2000/30D  (多波段定制)

评审日期：2024年9月22日 

设备主要技术参数：

曝光面积：4英寸

曝光波长，1:365nm 或405nm (可切换，更换滤光片), 曝光波长2:248nm

曝光位置1和曝光位置2自动切换分辨力：0.8-1mm

掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸(标准配置，其他尺寸可定做)

样片尺十，直径f10mm-f100mm  或者15mm   15mm-100mm   100mm(标准配置，其他尺寸可定做),可适应厚度为0.1mm--5mm (最大可扩展为15mm)

曝光方式：定时(倒计时方式)

具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能照明不均匀性：3%(f100mm 范围)

调平接触压力通过传感器保证重复数字设定对准间隙和曝光间隙

掩模相对于样片运动行程：

X: 优于±5mm;Y:      优于±5mm;q:   优于±6°

最大焦厚：400mm(SU8  胶，用户提供检测条件)

光源平行性：<3°

曝光能量密度1:>20mW/cm2(365   或405nm),    照明面温度<35°。曝光能量密度2: >3mw/cm2(248nm)

单层曝光一键完成

采用球气浮自动找平

汞灯功率：350W (直流，进口汞灯)

2.安装调试、验收、培训、质保期限、售后服务要求按照行业标准验收，一年质保。

公示时间：2024.9.23-2024.9.29，如有异议请拨打64252007向吴艳红老师反映。

化工学院

                                                     2024年9月23日